Русский

CS-20NG

XYZ Calibration Nanogrid

С целью проведения всех возможных для АСМ измерений, система АСМ должна быть откалибрована. Поэтому чем точнее Ваш стандарт калибровки, тем лучше измерения можно получить. Стандарт калибровки nanogrid обеспечивает наиболее точную калибровку.

CS-20NG является продвинутым стандартом калибровки на нанометровом уровне. Он имеет массив структур из диоксида кремния на кремниевом чипе размером 5x5 мм. Процесс производства гарантирует превосходную однородность структур вдоль чипа, это обеспечивает легкую и надежную калибровку Z - оси вашей системы АСМ. 

Зона калибровки располагается в центре чипа и бысто обнаруживается системой оптики АСМ. Высота ступеньки лежит в диапазоне 20 nm. Точное значение для каждого чипа обозначено на контйнере. Массив структур с различной формой и шагом интегрирован в чип. Большая область (1x1мм) содержит квадратные столбики и ямки размером 10 мкм. Средняя область содержит круглые столбики, ямки и полоски в направлении X и Y размером 5 мкм. Меньшая область содержит круглые ямки размером 500 нм.

CS-20NG подходит как для латеральной, так и для вертикальной калибровки. Симметричность стандарта позволяет откалибровать Вашу систему АСМ без необходимости вращения и регулировки образца между X- и Y-осями. 

Чип CS-20NG наклеен на металлический диск размером 12 мм с помощью высококачественной электропроводящей эпоксидной смолы и готов к использованию.

Технические параметры:

Размер: 5x5 мм

Высота ступеньки: ~20 нм *

Структурная геометрия:

- квадратные ямки и ступеньки размером 10 мкм в области 1x1 мм
 
- круглые ямки, ступеньки и полоски в x- и y-направлении размером 5 мкм в области 500x500 мкм.
- Круглые ямки размером 500 нм в области 100x100 мкм

*точный размер указан на контейнере

BudgetSensors
Артикул Цена Количество
CS-20NG 38416.47