Русский

EBD2-100_NCHR_3

Зонды АСМ с высоким коэффициентом пропорциональности и компенсацией на наклон для полуконтактного режима 

Универсальный зонд с высоким коэффициентом пропорциональности и высоким разрешением 

Зонд nanotools® EBD3D2-100A создан для бесконтактного режима и режима высокой частоты, в частности для автоматизированных систем контроля, в общем для целей АСМ. Превосходное время службы и надежность являются ключевыми преимуществами. Зонд EBD3D2-100A отлично подойдет для измерений глубоких впадин, а также высоких ступеней. Данный зонд предлагает алюминиевое покрытие на нижней стороне поддерживающего чипа. 

- форма:                                 коническая, с осевой симметрией
- длина:                                  2000-2600 нм
- диаметр:                              80-100 нм
- радиус наконечника:         < 10 нм, обычно 5 нм
- компенсация на наклон:   3 град +/- 1 град

Применяя запатентованную технологию EBD мы предлагаем жесткий и прочный зонд с высоким коэффициентом пропорциональности, превосходной симметрией и нанометровой точностью. 

Материал EBD 

Узкая часть наконечника сделана из плотного алмазоподобного материала DIAMOND LIKE CARBON(DLC).

• высокий коэффициент пропорцональности
• гидрофобные свойства поверхности
• высокая жесткость/модуль упругости (в 8 раз больше, чем у кремниевого)
• низкая тепловая масса
• устойчивость к истиранию

Данный зонд рассеивает статический заряд. Наряду с высокой разрешающей способностью зонд обладает высокой прочностью благодаря алмазоподобному покрытию. Мы предлагаем жесткий прочный зонд с высоким коэффициентом пропорциональности и превосходной симметрией с нанометровой точностью.

Зонд

форма: с высоким коэффициентом пропорциональности 

осаждение электронным пучком

типичноот_догарантированно
высота 2 мкм 2 - 2.6 мкм -
радиус 5 нм - 10 нм

Кантилевер

форма: прямая

типичноот_догарантированно
длина 125 мкм 120 - 130 мкм -
ширина 30 мкм 25 - 35 мкм -
толщина 4 мкм 3.5 - 4.5 мкм -
силовая_константа 42 Н/м 21 - 21 Н/м -
резонансная_частота 320 кГц 250 - 390 кГц -
NanoTools
Артикул Цена Количество
631--EBD2-100_NCHR_3-5 113348.88
631--EBD2-100_NCHR_3-25 482069.96
631--ESD-Kit 15374.42