Русский

TGF11

Описание продукта:
Калибровочные решетки TGF имеют трапецевидные ступеньки на кремниевом субстрате. Стенки структур очень гладкие, плоские поверхности образованы (111) кристаллографическими плоскостями из монокристаллического кремния. Стенки и горизонтальная верхняя плоскость образуют угол 54°74’.

Стандарт Размер Угол края
Активная область, мм Высота ступеньки, мкм* Размеры чипа, мм 
Величина, мкм Точность, мкм
TGF11 10 0.1 54°74’ 3x3 1.75 5 x 5 x 0.3
  
* Высота ступеньки указана только для информации, а не для целей вертикальной калибровки.

Применение 

Решетка TGF11 может использоваться для оценки нелинейности сканера в вертикальном направлении. Прямую калибровку латеральных сил можно получить, если проанализировать контактный ответ, измеренный на плоских и наклонных стенках. Это можно провести для калибровки традиционных кремниевых зондов или кантилеверов с прикрепленными коллоидными частицами с радиусом вплоть до 2 мкм.
MikroMasch
Артикул Цена Количество
TGF11 27740
942--TGF11 29069.78
942--TGF11-NM 29069.78