Русский

TGX

Описание продукта:
Кремниевая калибровочная решетка серии TGX представляет собой массив квадратных ямок с острыми краями, сформированный (110) кристаллографическими кремниевыми плоскостями. Типичный радиус кривизны края меньше 5 нм.

Применение

Калибровочная решетка TGX создана для латеральной калибровки сканера. Она может использоваться для:


• определения латеральной нелинейности, гистерезиса, крипа, эффекта интерференции; 
• определения коэффициента пропорциональности зонда.


Для точной количественной оценки изображений калибровочных решеток из серии TGXYZ, можно использовать калибровочную опцию Scanning Probe Image Processor (SPIP), разработанную Image Metrology.

Стандарт Подложка Высота  Радиус кривизны края, нм Высота ступеньки, мкм*  Активная область, мм  Размеры чипа, мм 
Значение, мкм Точность, мкм
TGX
установлен на металлический диск 12 мм 3 0.1 < 5 1 1 x 1 5 x 5 x 0.3
TGX/NM без металлической пластинки  3 0.1 < 5 1 1 x 1 5 x 5 x 0.3
  
* Высота ступеньки указана только для информации, а не для целей вертикальной калибровки.
MikroMasch
Артикул Цена Количество
TGX 28000
TGX_NM 28000
886--TGX 29069.78
886--TGX-NM 29069.78