Русский

TGXYZ01

Калибровочная решетка серии TGXYZ представляет собой массив из различных прямоугольных ступенек из SiO2 на кремниевом чипе. Маленькая область в центре размером 500 x 500 мкм включает круглые ступеньки, ямки и полоски размером 5 мкм в X-  Y- направлении. Большая область размером 1x1 мкм содержит ступеньки и ямки размером 10 мкм.

Высота ступеньки откалибрована по всей активной области. Действительная высота ступеньки, указанная в спецификации, может отличаться незначительно. 

Стандарт
Высота ступеньки
Размер, 
Активная область, мм
Размер чипа, мм
Значение, нм
точность, %
Значение, мкм 
Точность, мкм
TGXYZ01*,
TGXYZ01/NM**
20 2 5 & 10 0.1 1 x 1 5 x 5 x 0.3
TGXYZ02*,
TGXYZ02/NM**
100 3
TGXYZ03*,
TGXYZ03/NM**
500 3

*на металлической пластинке диаметром 12 мм
**без металлической пластинки

Применение

Калибровочные решетки TGXYZ предназанчены для вертикальной и латеральной калибровки сканирующих систем. Вертикальную нелинейность можно скомпенсировать используя несколько решеток с разными высотами ступенек. 

Для точной количественной оценки изображений калибровочных решеток из серии TGXYZ, можно использовать калибровочную опцию Scanning Probe Image Processor (SPIP), разработанную Image Metrology.
MikroMasch
Артикул Цена Количество
TGXYZ01 28000
TGXYZ01_NM 28000
888--TGXYZ01 29069.78
888--TGXYZ01-NM 29069.78